据日媒报道，ASML计划到2026年将日本子公司员工人数扩大至600人，较目前员工人数增加50%，这一增长得益于英特尔、美光等公司在日本引入EUV系统。
其首座晶圆厂将于2024年底在北海道千岁市竣工，并引入ASML的EUV光刻系统建立中试生产线，标志着EUV设备在日本的首次部署。
在广岛运营DRAM工厂的美光科技也计划在2025年之前在其工厂引进EUV设备，生产先进的1γDRAM产品和高带宽存储器（HBM）。
虽然包括、索尼和JASM在内的其他ASML日本客户尚未在当地使用EUV系统，但ASML正在这些半导体工厂附近设立服务中心，以满足他们的需求。
到 2024 年 9 月，ASML 将在其北海道工厂附近建立一个服务中心，最初最多配备 30 名员工，协助建立试验生产线。到 2027 年 2nm 芯片开始量产时，这一数字预计将增长到 50 人。随着这家新中心的建立，日本的 ASML 服务中心总数将增至 8 家。
日本半导体产业的扩张在很大程度上受到政府巨额补贴的推动，这些补贴旨在使日本成为先进芯片制造领域的领导者。EUV技术的引入是这一战略的关键部分，旨在增强经济安全并巩固日本在高价值先进芯片供应链中的地位。
该工厂共获得日本政府 9200 亿日元（58.7 亿美元）的补贴，但距离全面投产所需的 2 万亿日元仍相差甚远。美光对广岛工厂的 5000 亿日元投资中，就有 1920 亿日元来自政府补贴。
ASML增加员工人数也是因为JASM的需求，其第一工厂将于2024年开始量产，第二工厂也将开始建设，预计2027年竣工。这些工厂生产的6nm/7nm先进工艺芯片需要EUV设备，因此需要额外的维护和支持。
预测2023年至2028年间EUV光刻机市场将以年均21%的速度增长，到2028年市场规模将达到252亿美元。
